[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置有效

专利信息
申请号: 201621417113.2 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN206250163U 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 侯想;仇凯弘 申请(专利权)人: 福建中晶科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 364000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置,包括壳体,所述壳体为空腔结构,壳体的顶端设有进料口,所述进料口的一侧内壁铰接有顶盖,所述壳体的顶端内壁上安装有引料架,所述壳体的底端内壁滑动连接有支撑板,所述支撑板的顶端通过定位销安装有清洗座,所述清洗座上设有第一通孔,所述清洗座的顶端分别设有弧形的放置槽和挡板,所述清洗座的一侧开设有滑槽,所述支撑板靠近清洗座的一侧设有凹槽,所述凹槽内设有导流板,所述导流板上设有第二通孔,所述支撑板的底端和壳体的底端均设有相互连通的出料口,所述壳体内还设有滑动杆。本实用新型设计布局合理,减轻对蓝宝石衬底的损伤,清洁效果显著,同时有效提高清洗质量。
搜索关键词: 一种 图形 蓝宝石 衬底 酸碱 清洗 装置
【主权项】:
一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)为空腔结构,壳体(1)的顶端设有进料口(7),所述进料口(7)的一侧内壁铰接有顶盖(8),所述壳体(1)的顶端内壁上安装有引料架(9),所述壳体(1)的底端内壁滑动连接有支撑板(4),所述支撑板(4)的顶端通过定位销安装有清洗座(3),所述清洗座(3)上设有多个第一通孔(11),所述清洗座(3)的顶端分别设有弧形的放置槽和竖直设置的挡板(2),所述放置槽位于挡板(2)之间,所述清洗座(3)的一侧开设有竖直设置的滑槽(12),所述支撑板(4)靠近清洗座(3)的一侧设有凹槽(5),所述凹槽(5)内设有水平设置的导流板(13),所述导流板(13)上设有多个第二通孔(14),且第二通孔(14)与第一通孔(11)相配合,所述支撑板(4)的底端和壳体(1)的底端均设有相互连通的出料口(15),所述出料口(15)分别与第一通孔(11)和第二通孔(14)相对应,所述壳体(1)内还设有竖直设置的滑动杆(10),其中滑动杆(10)的一端延伸至壳体(1)的上方,滑动杆(10)的另一端通过滑槽(12)与导流板(13)固定连接,所述壳体(1)的底端两侧均设有竖直设置的支撑杆(6),所述支撑杆(6)之间设有水平设置的固定板(16),所述固定板(16)的底端安装有支撑架(18),所述支撑架(18)上设有转动电机(19),所述转动电机(19)的输出轴上连接有竖直设置的转动杆(17),且转动杆(17)与支撑板(4)固定连接。
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