[实用新型]霍尔离子源有效
| 申请号： | 201621417962.8 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN206271656U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 秦雪梅,刘静 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种霍尔离子源，包括底部和四周封闭、上部设置有开口的中空壳体；固定在所述壳体上的开口的对应位置的阴极；在所述壳体内与所述阴极相对设置的阳极，所述阳极设置有与所述壳体的开口对应的阳极口；设置在所述壳体内位于所述阳极下方的电磁铁；以及设置在所述壳体内的气体输入管道。通过采用电磁铁产生磁场，能够实现通过电流大小调整磁场强弱进而调整离子源的工艺参数，该调整方式简单稳定，无需调整离子源的工艺气体的供气量，使源子源在稳定气压中工作。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子源 | ||
【主权项】：
一种霍尔离子源，其特征在于，包括：底部和四周封闭、上部设置有开口的中空壳体；固定在所述壳体上的开口的对应位置的阴极；在所述壳体内与所述阴极相对设置的阳极，所述阳极设置有与所述壳体的开口对应的阳极口；设置在所述壳体内位于所述阳极下方的电磁铁；以及设置在所述壳体内的气体输入管道。
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