[实用新型]一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手，包括底座，所述底座的中部固接电机安装板，所述电机安装板上固接有若干个电机，电机的转轴上设有齿轮，所述齿轮的两侧分别设有与其相啮合的圆齿条，所述齿轮和圆齿条位于底座内。本结构的多头独立真空吸取机械手，通过齿轮和圆齿条的啮合，将电机的旋转运动转换为圆齿条的上下直线运动，从而驱动吸盘的上下运动。配合真空吸取，达到分次吸取多个产品再逐个放在不同的指定位置，有效的提高工作效率。本实用新型控制精准，使用方便，定位准确，极大的提高了工作产能。

主权项

一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手，其特征是包括底座（1），所述底座（1）的中部固接电机安装板（2），所述电机安装板（2）上固接有若干个电机（3），电机的转轴上设有齿轮（4），所述齿轮（4）的两侧分别设有与其相啮合的圆齿条（5），所述齿轮（4）和圆齿条（5）位于底座（1）内；所述圆齿条（5）的上下两端为光轴导向端，分别设有直线轴承（10），所述圆齿条（5）的顶端固接有气管固定块（6），底端固接有吸盘固定块（7），所述气管固定块（6）和吸盘固定块（7）分别位于底座（1）的两端；所述吸盘固定块（7）的两端分别设有导向轴（11）和圆齿条（5），导向轴（11）和圆齿条（5）的配合精确定位吸盘固定块（7）的位置，所述导向轴（11）位于底座（1）内，所述吸盘固定块（7）的侧边设有吸盘安装杆（8），所述吸盘安装杆（8）上固接有吸盘（9）。