[实用新型]基于QVCM电路的电容测试芯片有效
| 申请号： | 201621439193.1 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN206369766U | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 杨璐丹;窦晓昕;潘伟伟 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01R31/27;G01R31/28 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 王江成,卢金元 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于QVCM电路的电容测试芯片，其包括片上时钟发生器电路、寻址电路、QVCM电路单元以及若干连接到各电路的焊盘；所述片上时钟发生器电路连接寻址电路和QVCM电路单元，QVCM电路单元连接寻址电路，QVCM电路单元和寻址电路都连接到待测器件。片上时钟发生器电路的输出端产生三个时钟信号并输入到QVCM电路单元中，通过寻址电路选择待测器件进行检测。由于采用了寻址电路，本方案可以用较少的焊盘实现对多目标的选择，减小面积。并且由于时钟源为同一个，可以精确控制各时钟端的相位，从而提高检测精度。本方案适用于集成电路制造过程中的电容测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 qvcm 电路 电容 测试 芯片 | ||
【主权项】：
一种基于QVCM电路的电容测试芯片，其特征在于，包括片上时钟发生器电路、寻址电路、QVCM电路单元以及若干连接到各电路的焊盘；所述片上时钟发生器电路连接寻址电路和QVCM电路单元，QVCM电路单元连接寻址电路，QVCM电路单元和寻址电路都连接到待测器件。
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