[实用新型]一种用于晶圆的打点装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆的打点装置，打点装置包括X轴移动控制机构、Y轴移动控制机构和工作台，工作台用于承载晶圆，X轴移动控制机构控制工作台沿X轴移动，Y轴移动控制机构控制工作台沿Y轴移动，打点装置还包括支撑架和至少一个点墨机构，支撑架位于工作台的上方，支撑架上设置有多个工位，点墨机构包括固定组件和点墨组件，点墨组件对晶圆进行标记，固定组件包括安装件、第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一螺钉、第二螺钉和第三螺钉。可多工位同时对晶圆进行标记打点，生产效率高，结构简单。并且点墨组件的位置可调节，从而使打点装置适用于不同规格的晶圆，结构简单，生产效率高，降低生产成本。

主权项

一种用于晶圆的打点装置，其特征在于：所述打点装置包括X轴移动控制机构、Y轴移动控制机构和工作台，所述工作台用于承载晶圆；所述X轴移动控制机构控制所述工作台沿X轴移动；所述Y轴移动控制机构控制所述工作台沿Y轴移动；所述打点装置还包括支撑架和点墨机构，所述支撑架位于所述工作台的上方，所述支撑架上设置有多个工位；所述点墨机构包括固定组件和点墨组件，所述点墨组件对所述晶圆进行标记；所述固定组件包括安装件、第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一螺钉、第二螺钉和第三螺钉；所述安装件安装在所述工位上，所述安装件的上方设置有第一螺纹孔，所述第一连接件的下方与所述安装件的上方可移动地通过V形槽配合，所述第一螺钉与所述第一螺纹孔配合；所述第一连接件的上方设置有第二螺纹孔，所述第二连接件的下方与所述第一连接件的上方可移动地通过V形槽配合，所述第二螺钉与所述第二螺纹孔配合；所述第二连接件的侧面设置有第三螺纹孔，所述第三连接件的侧面与所述第二连接件的侧面可移动地通过V形槽配合，所述第三螺钉与所述第三螺纹孔配合；所述点墨组件可旋转地连接至所述第三连接件。