[实用新型]一种反射式同轴结构激光诱导击穿光谱分析装置

摘要

本实用新型提供了一种反射式同轴结构激光诱导击穿光谱分析装置，包括主机、激光器、载物台、光纤、光谱仪、激光扩束镜、分束单元和第一离轴抛物面镜；激发光沿激发光路聚焦于载物台放置的待测样品表面，待测样品发出的信号光沿信号光路返回并耦合入光纤；分束单元与待测样品之间的激发光路和信号光路保持同轴；准直的激发光经第一离轴抛物面镜反射聚焦于待测样品表面；入射分束单元的激发光和信号光沿不同方向出射。所述装置能消除宽带光谱收集时的色差、增大光谱接收面积，从而极大地提高了仪器的光谱收集效率；采用激光扩束镜，提高激发光功率密度，更容易激发局部的激光等离子体；所述装置还具有成本较低的特点。

主权项

一种反射式同轴结构激光诱导击穿光谱分析装置，包括激光器（2）、载物台（8）和光谱仪（12）；所述激光器（2）与所述光谱仪（12）信号连接；所述激光器（2）出射的激发光沿激发光路聚焦于所述载物台（8）放置的待测样品（9）表面，所述待测样品（9）发出的信号光沿信号光路返回并导入所述光谱仪（12）；其特征在于：所述装置还包括分束单元和第一离轴抛物面镜（7）；所述激发光和信号光在所述分束单元与所述待测样品（9）之间光路同轴且传播方向相反；自所述分束单元出射的准直的激发光经第一离轴抛物面镜（7）反射后可聚焦于所述待测样品（9）表面，所述信号光经第一离轴抛物面镜（7）反射后准直入射所述分束单元；自所述分束单元出射的信号光与激发光分束。