[实用新型]一种通用掩模夹具有效
申请号: | 201621445366.0 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN206363076U | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 刘维维;华卫群;沙云峰 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/687 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 康潇 |
地址: | 214135 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种通用掩模夹具,包括掩模夹具专用工作台,所述掩模夹具专用工作台的边缘位置处安装有边框,所述边框的内侧安装有掩模夹具,所述掩模夹具的中间位置安装有伸缩套,且伸缩套与边框通过第一伸缩杆连接,所述伸缩套的两侧安装有第二伸缩杆,所述固定架的上方安装有连接固定板,且连接固定板与边框的内侧通过嵌入孔镶嵌安装,所述第三伸缩杆的底部安装有吸盘,所述掩模夹具专用工作台的中间位置处设置有掩模放置槽。本实用新型设置有掩模夹具专用工作台,在此工作台上安装有四个掩模夹具,在掩模夹具专用工作台的中间位置设置有掩模放置槽,可以用来放置掩模材料,方便加工,且方便定位。 | ||
搜索关键词: | 一种 通用 夹具 | ||
【主权项】:
一种通用掩模夹具,包括掩模夹具专用工作台(1),其特征在于:所述掩模夹具专用工作台(1)的边缘位置处安装有边框(3),所述边框(3)的内侧安装有掩模夹具(15),所述掩模夹具(15)的中间位置安装有伸缩套(4),且伸缩套(4)与边框(3)通过第一伸缩杆(5)连接,所述伸缩套(4)的上方安装有把手(6),且把手(6)与伸缩套(4)通过连接螺栓(9)固定连接,所述伸缩套(4)的两侧安装有第二伸缩杆(8),所述第二伸缩杆(8)的一端安装有固定架(11),所述固定架(11)的上方安装有连接固定板(2),且连接固定板(2)与边框(3)的内侧通过嵌入孔(10)镶嵌安装,所述固定架(11)的底部安装有第三伸缩杆(13),所述第三伸缩杆(13)的底部安装有吸盘(14),所述掩模夹具专用工作台(1)的中间位置处设置有掩模放置槽(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中微掩模电子有限公司,未经无锡中微掩模电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201621445366.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。