[实用新型]铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置有效
| 申请号： | 201621466098.0 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206273838U | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 任宇航;林峰;罗明新 | 申请（专利权）人： | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/26 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所33235 | 代理人： | 龙湖浩 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置，包括放卷机构和收卷机构，放卷机构和收卷机构之间设有若干滚轮，铜铟镓硒卷材通过滚轮走卷，每两根相邻的所述滚轮之间都设有基底加热板，基底加热板内设有U型加热管，设有对滚轮进行加热的辅助加热装置。本实用新型采用的辅助加热装置对滚轮进行加热，避免了腔体中存在的Cu、In、Ga、Se尘粒因为基板和辅助滚的温度差而沉积于辅助滚上，使走卷的过程中铜铟镓硒卷材背面不会凸点，表面光洁度好。 | ||
| 搜索关键词： | 铜铟镓硒 真空 设备 滚轮 辅助 加热 装置 | ||
【主权项】：
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置，包括放卷机构（1）和收卷机构（2），放卷机构（1）和收卷机构（2）之间设有若干滚轮（3），铜铟镓硒卷材（7）通过滚轮（3）走卷，其特征在于：每两根相邻的所述滚轮（3）之间都设有基底加热板（4），基底加热板（4）内设有U型加热管，设有对滚轮（3）进行加热的辅助加热装置。
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