[实用新型]一种新型多晶硅片清洗机

摘要

本实用新型公开了一种新型多晶硅片清洗机，包括外壳、超声波刻蚀槽、超声波碱洗槽和超声波酸洗槽，所述外壳外壁开设有返洗口，且返洗口下端设置有加液板，所述外壳右侧固定有PLC控制器，所述外壳内部固定有导轨，且导轨与滑块滑动连接，所述滑块下端连接有伸缩杆，且伸缩杆另一端固定有机械爪，所述机械爪通过提手与清洗篮固定，且清洗篮左右两侧分别开设有进料口和出料口，所述清洗篮下端设置有换位板，所述换位板通过滑轨与外壳滑动连接，超声波刻蚀槽、超声波碱洗槽和超声波酸洗槽右侧均固定有漂洗槽。本实用新型通过超声波刻蚀槽、超声波碱洗槽和超声波酸洗槽依次对多晶硅片清洗，可有效去除晶片表面污物，清洗效率高。

主权项

一种新型多晶硅片清洗机，包括外壳（1）、超声波刻蚀槽（11）、超声波碱洗槽（13）和超声波酸洗槽（15），其特征在于：所述外壳（1）外壁开设有返洗口（18），且返洗口（18）下端设置有加液板（19），所述外壳（1）右侧固定有PLC控制器（20），所述外壳（1）内部固定有导轨（4），且导轨（4）与滑块（2）滑动连接，所述滑块（2）下端连接有伸缩杆（5），且伸缩杆（5）另一端固定有机械爪（7），所述机械爪（7）通过提手（6）与清洗篮（9）固定，且清洗篮（9）左右两侧分别开设有进料口（8）和出料口（16），所述清洗篮（9）下端设置有换位板（14），所述换位板（14）通过滑轨（17）与外壳（1）滑动连接，且滑轨（17）固定于外壳（1）内壁，所述超声波刻蚀槽（11）、超声波碱洗槽（13）和超声波酸洗槽（15）固定于外壳（1）底部，且超声波刻蚀槽（11）、超声波碱洗槽（13）和超声波酸洗槽（15）右侧均固定有漂洗槽（12），所述漂洗槽（12）上方均安装有吹风口（3）。