[实用新型]一种激光刻蚀错位半球与ODR结合的蓝宝石图形衬底有效
| 申请号： | 201621485482.5 | 申请日： | 2016-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN206322726U | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邵慧慧;徐现刚;刘成成;于果蕾;李沛旭 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/10;H01L33/00;H01L21/268 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司37219 | 代理人： | 王楠 |
| 地址： | 250101 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种激光刻蚀错位半球与ODR结合的蓝宝石图形衬底，属于光电子技术领域，在蓝宝石衬底上通过激光刻蚀出错位半球状突起，蓝宝石图形衬底的单个图形结构为半球状，在所述半球状突起的斜侧壁上有反射镜层。本实用新型在蓝宝石衬底的基础上做出错位半球状突起，激光刻蚀，精密度高，图形易于控制，增加出光机会，大大提高出光效率。同时在蓝宝石图形衬底的上半球图形上制备ODR反射镜，然后在其表面外延生长GaN层，不但能抑制缺陷的延伸，而且能提高GaN的晶体质量，同时提升出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 刻蚀 错位 半球 odr 结合 蓝宝石 图形 衬底 | ||
【主权项】：
一种激光刻蚀错位半球与ODR结合的蓝宝石图形衬底，其特征在于，衬底表面设有半球状突起，相邻两个半球状突起之间的衬底设有半球状凹槽，半球状突起表面设有反射镜层。
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