[实用新型]一种用于深孔电镀的电镀制具有效
| 申请号： | 201621493232.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206538499U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 吴泓均;王怿宁 | 申请（专利权）人： | 宁波工程学院 |
| 主分类号： | C25D21/10 | 分类号： | C25D21/10;C25D5/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电镀工具技术领域，具体讲的是一种用于深孔电镀的电镀制具，包括分别固定在电镀溶液槽(3)的两侧第一支架(1)和第二支架(2)，连接杆(4)，挂具(5)，用以固定样品(6)的样品固定板(7)，还包括液泵(8)、水用电磁阀(9)和喷液组件(10)，喷液组件(10)上设有多个喷液孔(11)，多个所述喷液孔(11)朝向样品(6)表面，电镀溶液被吸入液泵(8)并从喷液孔(11)喷出喷向样品(6)表面。采用这种结构后，提供一种使电镀溶液容易进入硅片样品上的深孔底部，从而可以获得深宽比较大的金属立柱的用于深孔电镀的电镀制具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电镀 | ||
【主权项】：
一种用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，包括分别固定在电镀溶液槽(3)的两侧第一支架(1)和第二支架(2)，第一支架(1)和第二支架(2)之间设有连接杆(4)，连接杆(4)的两端分别与第一支架(1)和第二支架(2)连接，连接杆(4)上固定连接有挂具(5)，挂具(5)的底端设有用以固定样品(6)的样品固定板(7)，样品固定板(7)位于电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过，所述一种用于深孔电镀的电镀制具还包括液泵(8)、水用电磁阀(9)和喷液组件(10)，所述液泵(8)的进口通过管道与电镀溶液槽(3)的内侧连通，液泵(8)的出口通过管道与喷液组件(10)连通，水用电磁阀(9)设在液泵(8)与喷液组件(10)之间，喷液组件(10)固定在电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过且位于样品(6)前方，喷液组件(10)上设有多个喷液孔(11)，多个所述喷液孔(11)朝向样品(6)表面，电镀溶液被吸入液泵(8)并从喷液孔(11)喷出喷向样品(6)表面。
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