[实用新型]坩埚装置有效
| 申请号： | 201621493497.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206521536U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 杨翠柏;方聪;陈丙振;杨光辉 | 申请（专利权）人： | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 陈英俊,杨桦 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种能提高籽晶受热均匀性的坩埚装置，其包括坩埚本体、坩埚盖和至少一个感应环。坩埚本体呈桶形，具有桶底、桶壁和顶部开口，其中桶底和桶壁围成用于盛放物料的容置空间；坩埚盖盖设于坩埚本体的顶部开口，坩埚盖具有朝向桶底的内表面和背离桶底的外表面；至少一个感应环同心设置于坩埚盖内并靠近坩埚的内表面，并且至少一个感应环的中心与坩埚盖的中心在同一条直线上。本实用新型坩埚装置减小了坩埚盖径向温度梯度，有效提高了坩埚盖整体的温度均匀性，能为设置于坩埚盖内表面中心处的碳化硅籽晶生成成晶体提供了良好的条件，即提高了籽晶径向温度的均匀性，减小了晶体生长过程中的热应力，从而能生长出质量高的晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚装置，其特征在于，包括：坩埚本体，呈桶形，具有桶底、桶壁和顶部开口，其中所述桶底和桶壁围成用于盛放物料的容置空间；坩埚盖，盖设于所述坩埚本体的顶部开口，所述坩埚盖具有朝向所述桶底的内表面和背离所述桶底的外表面；至少一个感应环，其同心设置于所述坩埚盖内并靠近所述坩埚的所述内表面，并且所述至少一个感应环的中心与所述坩埚盖的中心在同一条直线上。
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