[实用新型]硅片自动去毛边装置有效
| 申请号： | 201621494302.X | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206326465U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;姚伟忠;汤平 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片自动去毛边装置，包括机架及转动设置在机架上的工作平台，所述机架上设有用于驱动工作平台转动的第一电机，所述机架上设有用于去毛边的刀头，所述机架上设有用于带动刀头靠近或者远离工作平台的第一气缸，所述机架上滑动设置有滑板，所述滑板位于所述工作平台上方，所述机架上设有用于驱动滑板滑动的驱动装置，本实用新型能够快速的去除硅片上的毛边，提高了硅片的合格率，避免了切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 自动 毛边 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片自动去毛边装置，其特征在于：包括机架(1)及转动设置在机架(1)上的工作平台(2)，所述机架(1)上设有用于驱动工作平台(2)转动的第一电机(3)，所述机架(1)上设有用于去毛边的刀头(4)，所述机架(1)上设有用于带动刀头(4)靠近或者远离工作平台(2)的第一气缸(5)，所述机架(1)上滑动设置有滑板(6)，所述滑板(6)位于所述工作平台(2)上方，所述机架(1)上设有用于驱动滑板(6)滑动的驱动装置，所述滑板(6)上沿其滑动方向设有第一拉杆(7)和第二拉杆(8)，所述第一拉杆(7)的一端转动设有压板(9)，所述第二拉杆(8)的一端设有吸盘(10)，所述第二拉杆(8)上设有吸气泵(11)，所述吸气泵(11)与所述吸盘(10)连通，所述吸盘(10)与压板(9)均位于所述工作平台(2)的上方，所述滑板(6)上设有伸出端朝下的第二气缸(12)，所述第一拉杆(7)和第二拉杆(8)均设置在所述第二气缸(12)的伸出端上。
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