[外观设计]基板处理装置用绝热件有效
| 申请号： | 201630047824.4 | 申请日： | 2016-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN303912725S | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 立野秀人;原大介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称为基板处理装置用绝热件。2.本外观设计产品是主要在基板处理装置中，安装在向反应管内供给处理液或处理气体的配管的导入端口部的周围而使用的绝热件。如表示使用状态及各部分名称的剖视参考图所示，在该绝热件的内部内置有加热器及导热海绵而利用。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图为最能表明设计要点的视图。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 绝热 | ||
【主权项】：
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