[发明专利]溅射靶在审
| 申请号： | 201680002410.7 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN107075668A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 杨兴波;德扬·斯托亚科维奇;马修·J·科梅尔茨;阿瑟·V·特斯塔尼罗 | 申请（专利权）人： | 美题隆公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D27/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 王静,张珂珂 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于制造高纯度(>99.99％)低氧(<40ppm)溅射靶的方法，该溅射靶包含Co、CoFe、CoNi、CoMn、CoFeX(X＝B、C、Al)、Fe、FeNi或Ni的合金，并且具有由硼金属间化合物构成的柱状微观组织。所述溅射靶通过以下方法制造，定向铸造所述金属合金的熔融混合物，退火以去除残余应力，切割并任选进行退火及精整，以获得所述溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
一种用于制造溅射靶的方法，包括：形成熔融合金混合物，其中所述熔融合金混合物包含(i)含有Co、Fe或B中的至少一者作为主要组分的组合物，或(ii)包含Fe和Ni中的至少一者和Co的组合物，或(iii)具有式CoFeX的组合物，其中X为B、C或Al中的一者；将所述熔融混合物浇注于模具中以形成定向铸锭；将所述铸锭退火；和切割所述铸锭以形成所述溅射靶；其中所述溅射靶的纯度大于99.99％，并且具有40ppm以下的低氧含量，并且具有由硼化物构成的柱状微观组织。
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