[发明专利]复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法有效

专利信息
申请号: 201680002494.4 申请日: 2016-09-14
公开(公告)号: CN108352442B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 长江智毅;小泉文人 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: H01L41/337 分类号: H01L41/337;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/313;H03H3/08;H03H9/25
代理公司: 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 代理人: 王轶;郑雪娜
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板,其中,所述压电基板具有条纹状的厚度分布,在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中,出现厚度方向的振幅为5nm~100nm且宽度方向的间距为0.5mm~20mm的波形,该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中,所述条纹可以为平行的条纹,也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
搜索关键词: 复合 压电 厚度 趋势 推定 方法
【主权项】:
1.一种复合基板,其包括:直径2英寸以上的支撑基板、和压电基板,所述压电基板的厚度为20μm以下且透光,并接合于所述支撑基板,其中,所述压电基板具有条纹状的厚度分布,在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中,出现厚度方向的振幅为5nm~100nm且宽度方向的间距为0.5mm~20mm的波形,该波形的间距与所述条纹的宽度相关。
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