[发明专利]复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法有效
| 申请号： | 201680002494.4 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN108352442B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 长江智毅;小泉文人 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/337 | 分类号： | H01L41/337;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/313;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板，其中，所述压电基板具有条纹状的厚度分布，在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中，所述条纹可以为平行的条纹，也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 压电 厚度 趋势 推定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种复合基板，其包括：直径2英寸以上的支撑基板、和压电基板，所述压电基板的厚度为20μm以下且透光，并接合于所述支撑基板，其中，所述压电基板具有条纹状的厚度分布，在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。
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