[发明专利]阴极组件在审
| 申请号： | 201680003515.4 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN107109632A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 中村真也;山本弘辉 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种溅射装置用阴极组件，其可抑制在背板的延展部和靶侧面之间发生异常放电，同时能够抑制颗粒粉尘产生的阴极组件。所述阴极组件具有绝缘材质的靶(2)；与该靶的一面接合的背板(3)；以及以背板的靶侧为下，与比靶的外周端更向外延伸的背板的下侧的延展部(31)相对设置的环形遮蔽板(4)；背板具有相对于延展部凸出设置的接合部(32)，使遮蔽板的内周边部(41)位于在靶已接合在该接合部上的状态下从接合部向外探出的靶的探出部(21)和背板的延展部之间的间隙中。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 组件 | ||
【主权项】：
一种阴极组件，用于溅射装置，所述阴极组件具有：绝缘材质的靶；与该靶的一面接合的背板；以及以背板的靶侧为下，与比靶的外周端更向外延伸的背板下侧的延展部相对设置的环形遮蔽板，其特征在于：背板具有相对于延展部凸出设置的接合部，使遮蔽板的内周边部位于在靶已接合在该接合部上的状态下从接合部向外探出的靶的探出部和背板的延展部之间的间隙中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680003515.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能热轧钢带输送辊道清扫装置
- 下一篇：一种衬板
- 同类专利
- 专利分类
