[发明专利]衬底支架接纳设备有效
| 申请号： | 201680004127.8 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107004894B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | R·荣恩伯斯奇;T·布塞纽斯;S·菲茨图姆 | 申请（专利权）人： | 德国艾托特克公司 |
| 主分类号： | H01M10/04 | 分类号： | H01M10/04 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林斯凯<国际申请>=PCT/EP2016 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在衬底支架夹箝方向SHCD上将衬底支架(11)夹箝在所述衬底支架(11)的预定位置中且释放所述衬底支架(11)的衬底支架接纳设备(1)，其包括用于所述衬底支架(11)的机械对准及电接触的至少一个衬底支架连接装置(21)，其中所述衬底支架连接装置(21)包括用于使所述衬底支架(11)与所述衬底支架连接装置(21)在对准方向上对准的分离衬底支架对准装置(211)及用于电接触所述衬底支架(11)的分离衬底支架接触装置(212)。此外，本发明涉及一种电化学处理设备(5)，其包括所述衬底支架接纳设备(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支架 接纳 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于在衬底支架夹箝方向SHCD上将衬底支架(11)夹箝在所述衬底支架(11)的预定位置中且释放所述衬底支架(11)的衬底支架接纳设备(1)，其特征在于/n所述衬底支架接纳设备(1)包括经配置以接纳衬底支架(11)的衬底支架夹箝装置(2)；其中所述衬底支架夹箝装置(2)包括用于所述衬底支架(11)的机械对准及电接触的至少一个衬底支架连接装置(21)及至少一个衬底支架夹箝臂(22)，其中布置于衬底支架夹箝臂(22)的末端处的所述衬底支架连接装置(21)包括用于使所述衬底支架(11)与所述衬底支架连接装置(21)在对准方向上对准的分离衬底支架对准装置(211)及用于电接触所述衬底支架(11)的分离衬底支架接触装置(212)；其中在夹箝过程中，所述衬底支架接纳设备(1)经配置以首先对准所述衬底支架(11)且随后使所述衬底支架接触装置(212)与所述衬底支架(11)接触；其中当所述衬底支架接纳设备(1)未夹箝衬底支架(11)时，所述衬底支架对准装置(211)比所述衬底支架接触装置(212)朝向衬底支架(11)的预定位置突出更远。/n
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