[发明专利]压电膜以及压电振子有效
| 申请号： | 201680004869.0 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN107112977B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 会田康弘;梅田圭一 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;C23C14/06;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够充分地确保压电特性并降低应力的压电膜以及压电振子。压电膜含有AlN结晶、在AlN结晶中与Al进行置换的至少一种第一元素、以及具有比第一元素的离子半径小且，Al的离子半径大的离子半径并被添加到AlN结晶的第二元素。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 以及 | ||
【主权项】：
一种压电膜，含有：AlN结晶；至少一种第一元素，其在上述AlN结晶中与Al进行置换；以及第二元素，其具有比上述第一元素的离子半径小且比Al的离子半径大的离子半径，该第二元素被添加到上述AlN结晶。
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