[发明专利]用于激光扫描器系统的光学布置有效
申请号: | 201680006422.7 | 申请日: | 2016-01-19 |
公开(公告)号: | CN107209358B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 托马斯·诺比斯;拉尔斯-克里斯汀·维蒂希 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司股份公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B21/02 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 王小衡;任庆威 |
地址: | 德国奥*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于激光扫描器系统的光学布置,其具有较短的总体长度。为此,例如,可以在第一透镜组(62)和第二透镜组(66)之间提供具有负焦距的第三透镜组(64)。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 扫描器 系统 光学 布置 | ||
【主权项】:
1.一种用于激光扫描器系统的光学布置,包括:/n显微镜物镜,/n具有小于70mm的焦距的第一透镜组,/n具有小于20mm的焦距的第二透镜组(45),以及/n其中,所述第一透镜组被布置在所述显微镜物镜(41)和所述第二透镜组(45)之间,其中,所述第二透镜组(45)被配置为接收来自扫描器设备的光,其中,所述扫描器设备位于所述显微镜物镜(41)的出射光瞳(42)的共轭平面中,/n其特征在于,还包括用于提供第一光束路径和第二光束路径的分束器元件(100),其中,所述第一光束路径包括在对象的位置(60)与所述扫描器设备的位置之间的光束路径,并且其中,所述第二光束路径包括在所述对象的所述位置(60)与相机设备(102)之间的光束路径,其中,所述分束器元件(100)被提供在所述第一透镜组和第三透镜组之间,所述第三透镜组被布置在所述第一透镜组和所述第二透镜组之间。/n
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