[发明专利]MEMS换能器有效
| 申请号： | 201680007276.X | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107211222B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | S·L·卡吉尔;C·R·詹金斯;E·J·博伊德;R·I·拉明 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;关丽丽 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请描述了具有柔性膜的MEMS换能器，并且寻求减轻和/或重分布膜层内的应力。描述了具有第一/活性区域和第二/非活性区域的膜。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 | ||
【主权项】：
一种MEMS换能器，包括一个膜和至少一个安装结构，所述至少一个安装结构用于相对于一个基底支撑所述膜以提供一个柔性膜，且所述MEMS换能器还包括一个或多个应力扩散结构，所述一个或多个应力扩散结构设置在所述膜中，以便使所述安装结构的区域中的应力扩散。
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