[发明专利]管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置

摘要

本发明提供一种管路保持连接结构及高频天线装置，所述管路保持连接结构能够减小结构整体的宽度，且能够减少零件数及装配作业步骤。所述管路保持连接结构(30a)包括：外壳(32)，以气密地封闭真空容器(4)的开口部(6)的方式而固定；第1管路(50)，端部附近贯穿开口部(6)及外壳(32)；以及第2管路(60)，具有与所述端部的公螺纹部(56)螺合的母螺纹部(64)。管路(50)具有卡止部(52)。两管路(50)、(60)内供流体(2)流动。在管路(50)与外壳(32)及管路(60)的端部之间，分别设置有衬垫(72)、(73)。所述管路保持连接结构(30a)能够用于所述高频天线装置。

主权项

1.一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部；第1衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在所述第2管路的端部具有母螺纹部，所述母螺纹部与所述第1管路的所述公螺纹部螺合以连接两管路；以及第2衬垫，对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。