[发明专利]用于等离子体处理系统的低温夹具有效
| 申请号： | 201680008395.7 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN107533945B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | T·Q·特兰;Z·翁;D·卢博米尔斯基;S·小林;T·S·周;S·朴;S·M·费;S·文卡特拉曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 晶片夹具组件包括圆盘、杆、及基座。该圆盘包括电气绝缘材料，该电气绝缘材料界定该圆盘的顶表面，多个电极嵌入在该电气绝缘材料内。该圆盘也包括内圆盘元件，该内圆盘元件形成热交换流体的一个或多个通道，且与该电气绝缘材料热连通，且导电板材被设置与该内圆盘元件邻近。该杆包括与该板材及多个连接器电性耦接的导电杆壳体，且包括多个连接器，该多个连接器包括该电极的电气连接器。该基座包括与该杆壳体电性耦接的导电基座壳体、被设置在该基座壳体内的电气绝缘终端块，该多个连接器穿行通过该终端块。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 系统 低温 夹具 | ||
【主权项】：
一种晶片夹具组件，包括：圆盘，包括：电气绝缘材料，所述电气绝缘材料界定所述圆盘的顶表面；多个电极，所述多个电极被嵌入在所述电气绝缘材料内；内圆盘元件，所述内圆盘元件形成热交换流体的一个或多个通道，且与所述电气绝缘材料热连通；以及导电板材，所述导电板材被设置与所述内圆盘元件邻近；杆，包括：导电杆壳体，所述导电杆壳体与所述板材电性耦接；以及多个连接器，所述多个连接器包括所述电极的电气连接器；以及基座，包括：导电基座壳体，所述导电基座壳体是与所述杆壳体电性耦接；以及电气绝缘终端块，所述电气绝缘终端块设置在所述基座壳体内，所述多个连接器穿行通过所述终端块。
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