[发明专利]基材的检测有效
申请号: | 201680008520.4 | 申请日: | 2016-01-07 |
公开(公告)号: | CN107209199B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | P·瓦什维斯卡亚;E·谢弗;S·卡雷 | 申请(专利权)人: | 瑞尔赛特股份有限公司 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10;G01N21/00;G01N27/00;G01N29/00 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 宋岩 |
地址: | 美国华*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于定位基材的方法,所述方法包括:朝向所述基材驱动包括拣选头的拣选机;提供驱动步骤期间至少一个输出值;执行参照驱动,其中,所述拣选机驱动通过用于固定基材的固定夹,以及在参照驱动步骤期间获取至少一个参照输出值或值范围;使基材接触拣选头;提供接触步骤期间的接触值;使拣选头在基材上超程,其中,超程是即使在拣选头已经接触所述基材之后仍然继续驱动包括拣选头的拣选机;和提供超程步骤期间至少一个超程值;以及通过计算所述至少一个参照输出值或值范围与所述至少一个超程值之间的差来定位所述基材;其中,所述基材的位置在差值等于或大于阈值的某个点上;其中,所述至少一个输出值是由于驱动步骤期间拣选头与基材之间的距离出现预期变化,其中,接触值是由于接触步骤期间拣选头与基材之间的距离出现小于预期的变化。 | ||
搜索关键词: | 基材 检测 | ||
【主权项】:
一种方法,包括:驱动拣选机(包括拣选头)朝向基材;提供驱动期间至少一个输出值;使基材接触拣选头;提供接触期间的接触值;使拣选头在基材上超程;和提供超程期间至少一个超程值,其中,至少一个输出值是由于驱动期间拣选头与基材之间的距离出现预期变化,其中,接触值是由于接触期间拣选头与基材之间的距离出现小于预期的变化。
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