[发明专利]经构造用于更低薄膜应力及更低操作温度的3D打印腔室元件有效
| 申请号： | 201680008925.8 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN107210179B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 卡泽拉·R·纳伦德瑞纳斯;戈文达·瑞泽;吉留刚一;波柏纳·伊谢提拉·瓦珊塔;乌梅什·M·科尔卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开一种用于处理腔室的腔室元件。在一个实施方式中，一种用于处理腔室的腔室元件包括：具有单一整体结构的元件部分主体。所述元件部分主体具有纹理表面。所述纹理表面包括：多个独立的改造宏观特征，这些改造宏观特征与所述元件部分主体一体形成。这些改造宏观特征包括：从所述纹理表面延伸的宏观特征主体。 | ||
| 搜索关键词： | 构造 用于 薄膜 应力 操作 温度 打印 元件 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理腔室的腔室元件，所述腔室元件包括：元件部分主体，具有单一整体结构，所述元件部分主体具有纹理表面，所述纹理表面包括：多个独立的改造宏观特征，其中所述改造宏观特征包括从所述纹理表面延伸的宏观特征主体，所述宏观特征主体与所述元件部分主体一体形成，其中所述改造宏观特征以防止跨越所述纹理表面在所述改造宏观特征之间形成视线表面的图案来布置。
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