[发明专利]用于嵌段共聚物的取向控制的氟-醇添加剂有效

专利信息
申请号: 201680009052.2 申请日: 2016-02-08
公开(公告)号: CN107207813B 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 郑雅如;A·琼德尔;A·沃拉;M·芝奥;D·P·桑德斯 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: C08L25/08 分类号: C08L25/08;C08L69/00;C08L27/00;C08L53/00;H01L21/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 李颖;林柏楠
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在对自组装嵌段共聚物的结构域中性润湿的基底表面上制备包含用于自组装的高chi(χ)嵌段共聚物和含六氟醇的表面活性聚合物(SAP)的膜层。该嵌段共聚物包含至少一个聚碳酸酯嵌段和至少一个其它嵌段(例如取代或未取代的苯乙烯基嵌段)。其顶表面与气氛接触的膜层自组装以形成相对于下方表面具有垂直取向的层状或圆柱形结构域图案。用不含SAP的薄膜获得其它状态(例如高度1.0Lo的岛和孔)。该SAP优先与包含聚碳酸酯嵌段的结构域溶混并降低其表面能。
搜索关键词: 用于 共聚物 取向 控制 添加剂
【主权项】:
1.一种组合物,其包含i)溶剂;ii)嵌段共聚物,其包含:a)包含式(B‑1)的重复单元的第一嵌段:其中I)Rw是选自H、甲基、乙基和三氟甲基(*‑CF3)的一价基团且II)Rd是包含连接到碳1上的芳环的一价基团,和b)连接到第一嵌段上的脂族聚碳酸酯第二嵌段;和iii)包含氟‑醇重复单元(HFA重复单元)的表面活性聚合物(SAP),所述HFA重复单元包含至少一个六氟异丙基醇基团(HFA基团),所述HFA基团具有结构其中所述嵌段共聚物和所述SAP溶解在所述溶剂中。
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