[发明专利]聚合物及正性抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201680009228.4 | 申请日： | 2016-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN107207664B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08F212/06 | 分类号： | C08F212/06;C08F220/22;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邵秋雨;赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种可良好地用作γ值高的正性抗蚀剂的聚合物、以及可良好地形成高分辨率的图案的正性抗蚀剂组合物。本发明的聚合物含有α‑甲基苯乙烯单元和α‑氯代丙烯酸甲酯单元、分子量分布(Mw/Mn)小于1.48。此外，本发明的正性抗蚀剂组合物包含该聚合物和溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种聚合物，其含有α‑甲基苯乙烯单元和α‑氯代丙烯酸甲酯单元，分子量分布(Mw/Mn)小于1.48。
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