[发明专利]具有改善的RF返回的基板支撑件有效
| 申请号： | 201680009239.2 | 申请日： | 2016-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN107210180B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 阿拉维德·米亚尔·卡马斯;蔡振雄;贾勒帕里·拉维;松下智治;雨·常 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文提供一种用于处理基板的设备。在一些实施方式中，基板支撑件包括具有支撑表面的主体；设置在主体中并靠近支撑表面的RF电极，以接收来自RF源的RF电流；用于支撑主体的轴；具有内部空间且延伸通过轴的导电元件，其中所述导电元件耦接至RF电极；以及RF垫片；其中所述导电元件包含啮合RF垫片以将RF电流返回到接地的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改善 rf 返回 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基板支撑件，包括：/n主体，所述主体具有支撑表面，以支撑基板；/nRF电极，所述RF电极设置在所述主体中靠近所述支撑表面，以接收来自RF源的RF电流；/n轴，所述轴支撑所述主体；/n导电元件，所述导电元件具有内部空间且延伸通过所述轴，其中所述导电元件耦接至所述RF电极；/nRF垫片，其中所述导电元件包含啮合所述RF垫片以将所述RF电流返回到接地的特征；/n适配器部分，所述适配器部分耦接至与所述主体相对的所述轴的一端；及/n环形可偏压元件，所述环形可偏压元件耦接至一处理腔室的底板并环绕所述适配器部分，其中当所述基板支撑件在处理位置时，所述环形可偏压元件接触所述适配器部分，其中当所述基板支撑件不在所述处理位置时，所述环形可偏压元件与所述适配器部分间隔开。/n
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