[发明专利]带有改进的键合连接结构的功率半导体模块有效

专利信息
申请号: 201680009758.9 申请日: 2016-03-08
公开(公告)号: CN107210281B 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: R·皮尔默 申请(专利权)人: 英飞凌科技有限两合公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L23/49;H01L25/07
代理公司: 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人: 郑勇
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种功率半导体模块(10),其具有:至少一个衬底(4);至少一个功率半导体(2),其布置在衬底(4)上且在其背对衬底的侧面上具有联接面(21);布置在所述衬底(4)上在功率半导体(2)旁的、必要时分割的负载电位面(23);用于将联接面(21)与负载电位面(23)并联导电连接的多个键合连接件(25、26),其中,每个键合连接件(25、26)具有在负载电位面(23)上的至少一个第一键合脚(31)和在联接面(21)上的多个第二键合脚(32),并且其中,每个键合连接件(25、26)在联接面(21)上具有至少一个端部;其中,多个键合连接件(25、26)布置在至少两个群组中,群组由键合脚数量相同的多个键合连接件组成,并且一个群组中的每个键合连接件的第二键合脚(32)仅布置在联接面(22)的由联接面(21)部分面限定的区段或区域(22a或22b)中,并且群组相应的差别在于,其第一键合脚(31)布置成在负载电位面(23)上,并且朝功率半导体(2)具有不同的、但优选在每个群组内一致的间距(a
搜索关键词: 带有 改进 连接 结构 功率 半导体 模块
【主权项】:
1.一种功率半导体模块(10),其具有:/n至少一个衬底(4);/n至少一个功率半导体(2),其布置在所述衬底(4)上并且在其背对所述衬底的侧面上具有联接面(21);/n布置在所述衬底(4)上在所述功率半导体(2)旁的负载电位面(23);/n多个键合连接件(25、26),用于将所述联接面(21)与所述负载电位面(23)并联导电连接,其中,每个键合连接件(25、26)具有在所述负载电位面(23)上的至少一个第一键合脚(31)和在所述联接面(21)上的多个第二键合脚(32),并且其中,每个键合连接件(25、26)在所述联接面(21)上具有至少一个端部,/n其中,所述多个键合连接件(25、26)布置在至少两个群组(25或26)中,所述群组由键合脚相同数量的多个键合连接件组成,并且一个群组中的每个键合连接件的第二键合脚(32)仅布置在所述联接面(21)的由所述联接面部分表面限定的区段或区域(22a或22b)中,并且所述群组之间的差别在于,其第一键合脚(31)布置成在所述负载电位面(23)上,并且朝所述功率半导体(2)具有不同的、但在每个群组内一致的间距(a1或a2),/n其中,至少一个群组的键合连接件(26)具有第三键合脚(33),第三键合脚布置在所述第一键合脚(31)与所述第二键合脚(32)之间的所述键合连接件(26)的走线中并且布置金属镀层(30)上,金属镀层(30)以与所述负载电位面(23)电绝缘的方式布置在所述衬底(4)上,/n其中所述群组(25或26)的键合连接件在长度上没有不同。/n
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