[发明专利]共振的装置、含装置的组及操作方法和等离子体产生设备有效
| 申请号： | 201680010098.6 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN107430976B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | A·F·塞尔莫 | 申请（专利权）人： | A·F·塞尔莫;D·帕瓦林;F·特雷佐拉尼;M·马嫩特 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;杨薇 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： |
共振的装置、含装置的组及操作方法和等离子体产生设备，该装置适于射频功率传送，能够用于产生等离子体，并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源的下游，该装置包括：至少一个电感元件Lp，所述至少一个电感元件在使用时能够由至少一个射频电源供电；至少一个电容元件Cp，所述至少一个电容元件电连接在至少一个电感元件Lp的端子处；该装置具有等于 |
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| 搜索关键词： | 固有 设计 共振 适于 rf 功率 传送 装置 以及 包括 这种 用于 产生 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种被固有地设计为共振的装置(2)，所述装置适于射频功率传送，能够用于产生等离子体，并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源(3)的下游，所述装置(2)包括：至少一个电感元件Lp，所述至少一个电感元件Lp在使用时能够由至少一个射频电源(3)供电；至少一个电容元件Cp，所述至少一个电容元件Cp电连接在所述至少一个电感元件Lp的端子处；被固有地设计为共振的所述装置(2)具有等于![]()
的共振角频率，其特征在于，所述电容元件Cp和所述电感元件Lp各具有使得在共振状态下，电容元件和电感元件提供在所述装置(2)的端子处测量的等效阻抗的值，所述等效阻抗为电阻式，并且远高于在所述装置(2)的端子上游的寄生阻抗，使得所述寄生阻抗的效应在使用中能够忽略。
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