[发明专利]蒸镀单元、蒸镀装置及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201680010578.2 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN107250423A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 小林勇毅;川户伸一 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人： | 汪飞亚 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀单元(1)，包含蒸镀掩膜(10)、具有限制板(22)的限制板单元(20)及蒸镀源(30)。蒸镀源(30)俯视时具有分别设置在限制板(22)间的限制板开口(23)间的用于蒸镀颗粒射出的多个第一开口部(31)及设置在不与限制限制板开口(23)相对的位置的至少一个用于泄压的第二开口部(32)。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀单元，使规定图案的蒸镀膜成膜于被成膜基板上，其特征在于，包含：蒸镀源；配置于所述蒸镀源与所述被成膜基板之间的蒸镀掩模；以及配置于所述蒸镀源与所述蒸镀掩模之间的限制板单元；所述限制板单元具有在从与所述蒸镀掩模的主面垂直的方向看时彼此隔开地设置的多片第一限制板；所述蒸镀源具有：多个第一开口部，其在从与所述蒸镀掩模的主面垂直的方向看时分别设置于所述第一限制板间的间隙，用于射出蒸镀颗粒；以及至少一个第二开口部，其设置在与所述间隙不相对的位置，用于泄压。
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