[发明专利]铝化合物以及利用其形成含铝膜的方法在审
申请号: | 201680010611.1 | 申请日: | 2016-02-17 |
公开(公告)号: | CN107406465A | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 韩元锡;高元勇;李洪周 | 申请(专利权)人: | UP化学株式会社 |
主分类号: | C07F5/06 | 分类号: | C07F5/06;H01L21/285;H01L21/205 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所11410 | 代理人: | 石宝忠 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种由R3Al·L表示的铝化合物、包括该铝化合物的含铝膜组合物以及利用了该铝化合物的含铝膜形成方法,其中,各个R分别独立地包括直链或支链C3‑8烷基;L包括选自由直链或环状醚和直链或环状胺所组成的组中的物质,并且提供一种通过增加热稳定性而容易进行保管及运送的铝化合物及含铝膜形成用组合物。 | ||
搜索关键词: | 化合物 以及 利用 形成 含铝膜 方法 | ||
【主权项】:
一种由下列化学式1表示的铝化合物:[化学式1]R3Al·L在所述化学式1中,各个R分别独立地包括直链或支链的C3‑8烷基;L包括直链或环状胺。
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