[发明专利]包括热成像阶段的通过等离子体处理容器的方法

摘要

一种用于通过等离子体处理容器(2)以在容器(2)的内表面上沉积阻挡层的方法，所述方法包括以下操作：在等离子体熄灭后成像容器(2)的热图像；比较容器的热图像与储存的参照热图像；如果容器(2)的热图像不同于参照热图像，则改变以下参数中的至少一项：内负压、外负压、前驱气体的流量、微波频率、微波功率、处理持续时间。

主权项

1.一种用于通过等离子体处理容器(2)以在容器(2)的内表面上沉积阻挡层的方法，所述方法包括以下操作：/n-将容器(2)引入微波可穿透的壳体(5)中；/n-在容器(2)内产生预定值的内负压；/n-在壳体(5)内产生预定值的外负压；/n-按照预定流量注入前驱气体到容器(2)中；/n-使壳体(5)承受在微波范围内的预定功率和预定频率的电磁波，以在前驱气体中激发等离子体；/n-在预定的处理持续时间期间保持内负压、外负压、前驱气体的注入和电磁波以维持等离子体；/n-熄灭等离子体；/n其特征在于，所述方法还包括以下操作：/n-在等离子体熄灭后成像容器(2)的热图像(27)；/n-比较容器的热图像(27)与储存的参照热图像(28)；/n-如果容器(2)的热图像(27)不同于参照热图像(28)，则改变以下参数中的至少一项：内负压、外负压、前驱气体的流量、微波频率、微波功率、处理持续时间。/n