[发明专利]水中微粒的去除装置和超纯水制造/供给系统在审
申请号: | 201680011629.3 | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN107250052A | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 川胜孝博;饭野秀章;福井长雄;金田真幸;佐藤大辅 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社;旭化成株式会社 |
主分类号: | C02F1/44 | 分类号: | C02F1/44;B01D61/14;B01D61/58;B01D71/72;B01J41/04;B01J47/12;C08J5/22;C08J9/36 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 李英艳,张永康 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在超纯水制造/供给工艺中的使用点前的子系统或供水路径中,高度地去除水中的粒径为50nm以下尤其为10nm以下的极微小的微粒。水中微粒的去除装置具有膜过滤机构,该膜过滤机构具有含有弱阳离子性官能基的精密过滤膜或超过滤膜。作为具有弱阳离子性官能基的精密过滤膜或超过滤膜,优选为在聚酮膜中导入有弱阳离子性官能基的膜。通过弱阳离子性官能基,可吸附去除带负电的水中的微粒。 | ||
搜索关键词: | 水中 微粒 去除 装置 超纯水 制造 供给 系统 | ||
【主权项】:
一种水中微粒的去除装置,其是通过超纯水制造工艺去除水中的微粒的装置,其特征在于,具有膜过滤机构,该膜过滤机构具有含有弱阳离子性官能基的精密过滤膜或超过滤膜。
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