[发明专利]气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法有效
| 申请号： | 201680011950.1 | 申请日： | 2016-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN107407329B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 铃木祐辉;谷川贞夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;B65G49/06;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡曼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A)，所述气体下方喷出部(2A)设置于，对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(100)，使所述气体从所述板状工件(100)的上方向下方喷出从而施加压力的位置，在对板状工件进行上浮支承之际，能进行上浮量均匀并且高平面度地支承。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 上浮 工件 支承 装置 接触 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体上浮工件支承装置，用于对供激光照射的板状工件进行搬运，其特征在于，具有：安装底座；具有配置于所述安装底座上的第一气体上方喷出部及第二气体上方喷出部、配置于所述安装底座上且位于所述第一气体上方喷出部及所述第二气体上方喷出部之间的第三气体上方喷出部的气体上方喷出部；以及具有配置于所述第三气体上方喷出部的上方的第一气体下方喷出部和第二气体下方喷出部的气体下方喷出部，能穿过所述第一气体下方喷出部和所述第二气体下方喷出部之间，将所述激光照射到工件，所述工件在所述第一气体上方喷出部至所述第三气体上方喷出部的上方，通过从所述第一气体上方喷出部至所述第三气体上方喷出部喷出的上方气体而浮起，所述工件在所述第三气体上方喷出部的上方，通过从所述第一气体下方喷出部和所述第二气体下方喷出部喷出的下方气体而承受朝下方的压力，所述工件在所述第三气体上方喷出部的上方，被所述上方气体和所述下方气体支撑。
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