[发明专利]用于将氯硅烷歧化成单硅烷和四氯硅烷的塔和方法以及用于获取单硅烷的装置有效

专利信息
申请号: 201680012157.3 申请日: 2016-02-23
公开(公告)号: CN107454895B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: C.施密德;J.哈恩;C.A.富尔曼 申请(专利权)人: 施米德硅晶片科技有限责任公司
主分类号: C01B33/04 分类号: C01B33/04;C01B33/107
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 段菊兰;周李军
地址: 德国弗罗*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 描述了一种用于将氯硅烷歧化成单硅烷和四氯硅烷的塔和方法,并且同时精馏分离所得硅烷。还描述了一种具有此种塔的装置。所述塔包括塔顶、塔底和布置在两者间的管形塔壳。在所述塔壳内和沿着塔轴存在呈交替布置的至少两个处于相叠的反应区和至少两个用于精馏分离的分离区。所述反应区各自布置有催化剂床,在所述催化剂床中氯硅烷歧化成低沸点硅烷以及(相比较)高沸点硅烷,所述低沸点硅烷在所述塔内形成上行气体流,所述高沸点硅烷(在冷凝之后)在所述塔内形成指向下的液体流。在此构造所述分离区和所述反应区,使得所述气体流和所述液体流在所述分离区中相遇,而在所述反应区中,将所述液体流引导经过所述催化剂床并且所述气体流以与所述液体流空间上分离的方式通过所述催化剂床。
搜索关键词: 用于 硅烷 化成 方法 以及 获取 装置
【主权项】:
一种用于将氯硅烷(连续)歧化成单硅烷和四氯硅烷的塔,其中同时精馏分离所得硅烷,所述塔具有以下特征:•所述塔包括塔顶、塔底和布置在两者间的管形塔壳,•所述塔在所述塔壳内和沿着塔轴包括至少两个处于相叠的反应区,在其中各自布置有催化剂床,在所述催化剂床中氯硅烷歧化成低沸点硅烷以及(相比较)高沸点硅烷,所述低沸点硅烷在所述塔内形成上行气体流,所述高沸点硅烷(在冷凝之后)在所述塔内形成指向下的液体流,•所述塔在所述塔壳内和沿着所述塔轴包括用于精馏分离的至少两个分离区,•所述反应区和所述分离区沿着所述塔轴交替布置,•构造所述分离区,使得所述气体流和所述液体流在所述分离区中相遇,和•构造所述反应区,使得所述指向下的液体流引导经过所述催化剂床,而指向上的气体流以与所述液体流空间上分离的方式通过所述催化剂床。
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