[发明专利]自适应滋扰过滤器有效

专利信息
申请号: 201680013046.4 申请日: 2016-03-03
公开(公告)号: CN107407648B 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 阿迪斯·梁;马丁·普利哈尔;拉加·巴布尔纳特;桑卡·梵卡泰若曼 申请(专利权)人: 科磊股份有限公司
主分类号: G01N23/20 分类号: G01N23/20;G01N21/88;G01N21/95;G01R31/26;G01R31/28
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供用于使用自适应滋扰过滤器产生针对样本的检验结果的方法及系统。一种方法包含选择在样本的检验期间检测到的事件的部分,所述检测到的事件的部分具有用于所述事件的至少一个特征的值,所述值比所述事件的另一部分的至少一个特征的值更接近所述滋扰过滤器的至少一个参数的至少一个值。所述方法还包含获取用于事件的样品的输出获取子系统的输出、基于所述获取的输出对所述样品中的所述事件分类且确定是否应基于所述分类的结果修改所述滋扰过滤器的一或多个参数。接着,所述滋扰过滤器或所述经修改滋扰过滤器可应用于所述样本的所述检验的结果以针对所述样本产生最终检验结果。
搜索关键词: 自适应 滋扰 过滤器
【主权项】:
1.一种经配置以使用自适应滋扰过滤器产生针对样本检验结果的系统,所述系统包括:输出获取子系统,其包括至少一能源及检测器,其中所述能源经配置以产生引导到样本的能量,且其中所述检测器经配置以检测来自所述样本的能量且响应于所述检测到的能量而产生输出;及一或多个计算机子系统,其经配置以用于:获取所述样本的检验的结果及用于所述检验的滋扰过滤器的参数,其中所述结果包括针对在所述检验期间检测到的事件的一或多个特征的值,且其中在所述检验期间确定所述值;通过选择具有用于所述一或多个特征的至少一者的值的所述事件的部分而产生所述事件的样品,所述值比针对所述事件的另一部分的所述一或多个特征的所述至少一者的值更接近所述滋扰过滤器的所述参数的至少一个者的至少一个值;获取针对所述事件的所述样品的所述输出获取子系统的所述输出;基于所述获取的输出对所述样品中的所述事件分类;确定是否应基于所述分类的结果修改所述滋扰过滤器的所述参数中的一或多者;当确定不应修改所述滋扰过滤器的所述参数中的所述一或多者时,将所述滋扰过滤器应用于针对所述样本的所述检验的所述结果以产生针对所述样本的最终检验结果;且当确定应修改所述滋扰过滤器的所述参数中的所述一或多者时:通过基于所述分类的所述结果修改所述滋扰过滤器的所述参数中的所述一或多者来修改所述滋扰过滤器;且将经修改的滋扰过滤器应用于针对所述样本的所述检验的所述结果以产生针对所述样本的所述最终检验结果。
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