[发明专利]辐射系统有效
| 申请号： | 201680013084.X | 申请日： | 2016-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN107430348B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | H-K·尼恩惠斯;埃里克·W·博加特;R·L·唐克;B·克鲁兹卡;E·R·鲁普斯特拉;H·博特马;G·C·德弗里斯;O·W·V·弗吉恩斯;J·J·M·巴塞曼斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种辐射系统包括：分束设备，配置成接收主辐射束且将所述主辐射束分成多个分支辐射束；和辐射更改装置，布置成接收输入辐射束且输出修改后的辐射束，其中所述辐射更改装置配置成提供输出的修改后的辐射束，所述输出的修改后的辐射束在与所述所接收的输入辐射束相比较时具有增加的集光率，其中所述辐射更改装置被布置成使得由所述辐射更改装置所接收的所述输入辐射束为主辐射束，且所述辐射更改装置配置成将修改后的主辐射束提供至所述分束设备，或其中所述辐射更改装置被布置成使得由所述辐射更改装置所接收的所述输入辐射束是从所述分束设备输出的分支辐射束。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 系统 | ||
【主权项】：
一种辐射系统，包括：分束设备，配置成接收主辐射束且将所述主辐射束分成多个分支辐射束；和辐射更改装置，布置成接收输入辐射束且输出修改后的辐射束，其中所述辐射更改装置配置成提供输出的修改后的辐射束，所述输出的修改后的辐射束在与所接收的输入辐射束相比较时具有增加的集光率；其中所述辐射更改装置被布置成使得由所述辐射更改装置接收的所述输入辐射束为主辐射束，且所述辐射更改装置配置成将修改后的主辐射束提供至所述分束设备；或其中所述辐射更改装置被布置成使得由所述辐射更改装置接收的所述输入辐射束为从所述分束设备输出的分支辐射束。
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