[发明专利]三极管型电离真空计有效
| 申请号： | 201680013476.6 | 申请日： | 2016-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN107407611B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 宫下刚;中岛丰昭;福原万沙洋 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32;H01J41/04 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。 | ||
| 搜索关键词： | 三极管 电离 真空计 | ||
【主权项】：
1.一种三极管型电离真空计，是安装在测量对象物上检测其内部压力的三极管型电离真空计，具有灯丝；配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极；以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器；给灯丝通电使该灯丝发光并释放热电子，施加给栅极高于灯丝的电位，以离子收集器捕捉在该栅极周边与热电子碰撞产生的气体原子、分子的正离子，根据此时的离子电流检测压力，所述三极管型电离真空计，其特征在于：省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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