[发明专利]用于具有改进的图像束稳定性及询问的带电粒子显微镜的方法及系统

摘要

本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。

主权项

一种扫描电子显微镜设备，其包括：电子束源，其经配置以产生电子束；一组电光元件，其将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上；发射率分析器组合件；分光器元件，其经配置以将由所述样本的表面发射的次级电子或反向散射电子中的至少一者的至少一部分引导到所述发射率分析器组合件，其中所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子或所述反向散射电子中的至少一者进行成像，其中所述发射率分析器组合件包含：一组偏转光学器件；第一电光透镜；第一电子检测器，其包含中心孔，其中所述第一电子检测器经配置以收集所述次级电子的部分或所述反向散射电子的部分中的至少一者；第一网状元件，其安置于所述第一电子检测器的下游；第二网状元件，其安置于所述第一网状元件的下游，其中所述第一电子检测器及所述第一网状元件形成减速区域，其中所述第一网状元件及所述第二网状元件形成漂移区域；能量过滤器，其安置于第二接地网状元件的下游；第二电光透镜；及第二电子检测器，其经配置以收集所述次级电子的额外部分或所述反向散射电子的额外部分中的至少一者。