[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201680014166.6 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN107408936B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 岸本谕卓 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/02;H03H3/08;H03H9/145;H03H9/17 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在划片工序时难以产生层间的剥离的弹性波装置及其制造方法。弹性波装置(1)具备：压电体层(2)，具有第一主面(2a)和与该第一主面(2a)对置的第二主面(2b)；声反射层(5)，层叠在压电体层(2)的第一主面(2a)上；激励电极，设置在压电体层(2)；以及支承层(6)。声反射层(5)位于在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下至少与激励电极重叠的位置。支承层(6)设置为至少在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下包围声反射层(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种弹性波装置，具备：压电体层，具有第一主面和与该第一主面对置的第二主面；声反射层，层叠在所述压电体层的所述第一主面上；激励电极，设置在所述压电体层；以及支承层，所述声反射层位于在从所述压电体层的所述第二主面侧的俯视下至少与所述激励电极重叠的位置，所述支承层设置为至少在从所述压电体层的第二主面侧的俯视下包围所述声反射层。
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