[发明专利]MEMS传感器，尤其是压力传感器在审
| 申请号： | 201680014763.9 | 申请日： | 2016-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN107407609A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81B3/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆森,戚传江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于计量地感测被测变量的具有改进的抗过载性的MEMS传感器，其包括彼此上下布置的多个层(1、3、5)，尤其是硅层，其中，MEMS传感器的层(1、3、5)包括至少一个内层(5)，其被布置在第一层(1)与第二层(3)之间，并且在MEMS传感器的内层(5)中，设置有垂直于内层(5)的平面延伸通过内层(5)的至少一个切口(7)，该切口至少部分地与内层(5)的区域从外部接合并且形成连接元件(9)，该区域与第一层(1)和第二层(3)连接，MEMS传感器的特征在于，至少部分地与切口(7)从外部接界的连接元件(9)的侧表面(11)在面向第一层(1)的端部区域中具有在第一层(1)的方向上减小切口(7)的横截面面积的倒圆形状，并且在面向第二层(3)的端部区域中具有在第二层(3)的方向上减小切口(7)的横截面面积的倒圆形状。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 尤其是 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种用于被测变量的计量记录的MEMS传感器，包括：‑彼此上下布置的多个层(1、3、5)，尤其是硅层，‑其中，所述层(1、3、5)包括至少一个内层(5)，所述至少一个内层(5)布置在第一层(1)与第二层(3)之间，并且‑在所述内层(5)中，设置有垂直于所述内层(5)的平面延伸通过所述内层(5)的至少一个环形空腔(7)，所述内层(5)的与所述第一层(1)和所述第二层(3)连接的区域与所述空腔(7)从外部接界并且形成连接元件(9)，并且环形地围绕所述空腔(7)，其中，所述内层(5)的所述区域中的所述连接元件(9)通过所述空腔(7)与由所述空腔(7)围绕的附加区域完全隔离，其特征在于与所述空腔(7)从外部接界的所述连接元件(9)的侧表面(11)‑在面向所述第一层(1)的端部区域中具有在所述第一层(1)的方向上减小所述空腔(7)的横截面面积的倒圆部，以及‑在面向所述第二层(3)的端部区域中具有在所述第二层(3)的方向上减小所述空腔(7)的横截面面积的倒圆部。
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