[发明专利]用于运行在线涂覆设备的方法和在线涂覆设备

摘要

本发明涉及运行在线涂覆设备的方法，该设备具有带有进料门的进料室(220)、连接至进料室且可借助第一闸门与进料室分隔的第一缓冲室(221)、连接至第一缓冲室且可借助第二闸门与缓冲室分隔的加工室(235)、连接至加工室且可借助第三闸门与加工室分隔的第二缓冲室(222)、连接至第二缓冲室且具有出料门的出料室(240)，出料室可借助第四闸门与第二缓冲室分隔，进料室、缓冲室、缓冲室及出料室设计成能容置直到预定尺寸的基板的模块，为了涂覆，基板(200)从进料室经第一缓冲室被送至加工室并从加工室经第二缓冲室被送至出料室，第一缓冲室具有包括至少一个狭缝活门的缝隙闸门机构，可借此在第一闸门启闭时在第一缓冲室内调节第二闸门区域内压力与第一闸门区域内压力之间的压力梯度。本发明还涉及相应的在线涂覆设备。

主权项

一种用于运行在线涂覆设备的方法，该在线涂覆设备具有：具有进料门(260)的进料室(220)，连接至该进料室(220)的第一缓冲室(221)，该第一缓冲室能借助第一闸门(261)与该进料室(220)分隔开，连接至该第一缓冲室(221)的加工室(235)，该加工室能借助第二闸门(264)与该缓冲室(221)分隔开，连接至该加工室(235)的第二缓冲室(222)，该第二缓冲室能借助第三闸门(265)与该加工室(235)分隔开，连接至该第二缓冲室(222)的且具有出料门(263)的出料室(240)，该出料室能借助第四闸门(262)与该第二缓冲室(222)分隔开，其中该进料室(220)、该缓冲室(221)、该缓冲室(222)及该出料室(240)被设计成用于容置直到预定尺寸为止的基板的模块，其中为了涂覆，基板(200)从该进料室(220)经由该第一缓冲室(221)被输送至该加工室(235)并从该加工室(235)经由该第二缓冲室(222)被输送至该出料室(240)，其特征在于，该第一缓冲室(221)具有包括至少一个狭缝活门(221b)的缝隙闸门机构，在第一闸门(261)被打开或关闭时在该第一缓冲室(221)内借助该缝隙闸门机构调节在该第二闸门(264)区域内的压力与该第一闸门(261)区域内的压力之间的压力梯度。