[发明专利]激光加工的背触异质结太阳能电池在审
| 申请号： | 201680015340.9 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107430981A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | D·H·列维;D·E·卡尔森 | 申请（专利权）人： | 奈特考尔技术公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种叉指型太阳能电池可以提供异质结或隧道结发射极和基极触点，所述触点包括激光加工区域，所述激光加工区域将所述基极触点电耦合至衬底。用于制造这种太阳能电池以提供叉指型背触点的方法可以利用激光加工来形成与所述发射极隔离的激光加工区域。激光加工可以包括激光掺杂、激光烧结、激光转印、激光转印掺杂、激光接触和/或气体浸没激光掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 背触异质结 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种用于形成太阳能电池的叉指型背触点的方法，所述方法包括：在衬底(200)的后表面上形成异质结结构或隧道结结构(220，230)；在所述后表面上形成基极触点(252)的激光加工区域(250)，其中，所述基极触点的所述激光加工区域通过激光加工形成；以及在所述后表面上以叉指型图案沉积金属层(240)，其中，所述叉指型图案提供所述金属层的与发射极区域(255)电连通的第一组指状物以及所述金属层的与所述基极触点电连通的第二组指状物，并且所述基极触点与所述发射极区域隔离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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