[发明专利]升降销及其制造方法有效
| 申请号： | 201680016511.X | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN107407004B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 尹晟曦;郑灌镐 | 申请（专利权）人： | 高美科株式会社 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种升降销，其在对晶片进行外延工艺的工艺室内部贯穿放置有所述晶片的衬托器的孔以支撑所述晶片并且具有由玻璃碳材料形成的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种升降销，所述升降销在对晶片进行外延工艺的工艺室内部贯穿放置有所述晶片的衬托器的孔以支撑所述晶片，并且具有由玻璃碳材料形成的表面，所述升降销包括：销头部，其形成在所述升降销的与所述晶片接触的上部；轴，其贯通所述衬托器的孔；以及销颈部，其位于所述销头部和所述轴之间且具有以从所述销头部朝向所述轴逐渐变窄的方式倾斜地形成的外周面。
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