[发明专利]用于试样的光片显微镜检测的方法和装置有效
| 申请号： | 201680017044.2 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107430264B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 海尔穆特·里佩尔特;托拜厄斯·考夫霍德;托马斯·卡尔克布莱纳;乔治·吉本摩尔根 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/10 | 分类号： | G02B21/10;G02B21/16;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人： | 崔永华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线；光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片；照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明；以及检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度。在该光片显微镜中，光束成形模块(8)包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中每个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布。另外，所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 试样 显微镜 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线，光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片，照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明，检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度，其特征在于，光束成形模块(8)，其包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中一个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布，并且所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。
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