[发明专利]三极管型电离真空计有效
申请号: | 201680017058.4 | 申请日: | 2016-02-10 |
公开(公告)号: | CN107407612B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 宫下刚;中岛丰昭;福原万沙洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | G01L21/32 | 分类号: | G01L21/32;H01H41/04 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG),具有:灯丝(2);配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极(3);以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器(4)。还具有:灯丝发光用的电源(E1);施加给栅极高于灯丝电位的栅极用的电源(E2);以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源(E3)。给灯丝的供给电力设置在4W以下,控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA~10mA的范围内。 | ||
搜索关键词: | 三极管 电离 真空计 | ||
【主权项】:
一种三极管型电离真空计,是安装在测量对象物上检测其内部压力的三极管型电离真空计,其具有:灯丝;配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极;在栅极周围同心配置的筒状离子收集器;给灯丝通直流电使灯丝红热的灯丝发光用电源;施加给栅极高于灯丝电位的栅极用电源;以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源;给灯丝的供给电力设置在4W以下;所述三极管型电离真空计,其特征在于:控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA~10mA的范围内。
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