[发明专利]用于将高度柔性衬底接合至载体的方法以及由此形成的产品在审
| 申请号： | 201680017296.5 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN107428120A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | R·C·卡迪;J·S·希特斯;J·J·柯斯特洛三世;J·J·多梅;I·A·尼库林;G·C·韦伯 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B7/06 | 分类号： | B32B7/06;B32B17/06;C03C27/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 姬利永 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于将柔性衬底接合至载体衬底的方法，通过对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的至少一种以便在第一方向上引起向平面外弯曲；在维持对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的所述至少一种的同时，将所述柔性衬底定位在所述载体衬底之上；以及在所述柔性衬底与所述载体衬底之间引起接合，其中，所述接合在开始区域启动，并且此后，接合正面从所述开始区域传播所述接合，直到所述柔性衬底接合至所述载体衬底。所述接合正面的特性趋于使所述接合的柔性衬底和所述载体衬底在与所述第一方向相反的第二方向上向平面外弯曲，从而使得在接合之后向平面外的变形量得到控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高度 柔性 衬底 接合 载体 方法 以及 由此 形成 产品 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：提供由材料板形成的载体衬底，所述载体衬底具有X轴上的长度尺寸、Y轴上的宽度尺寸、以及Z轴上的厚度尺寸，其中，所述X轴和所述Y轴限定X‑Y平面；提供由材料板形成的柔性衬底，所述柔性衬底具有所述X轴上的长度尺寸、所述Y轴上的宽度尺寸、以及所述Z轴上的厚度尺寸；对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的至少一种以便沿着所述Z轴在第一方向上引起向X‑Y平面外的弯曲；在维持对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的所述至少一种的同时，将所述柔性衬底定位在所述载体衬底之上；以及在所述柔性衬底与所述载体衬底之间引起接合，其中，所述接合在开始区域启动，并且此后，接合正面从所述开始区域传播所述接合，直到所述柔性衬底接合至所述载体衬底，其中，所述接合正面的特性趋于使所接合的柔性衬底和所述载体衬底沿着所述Z轴在与所述第一方向相反的第二方向上向X‑Y平面外弯曲。
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