[发明专利]层叠体、临时粘接用组合物及临时粘接膜有效
| 申请号： | 201680017461.7 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107405870B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 加持义贵;岩井悠;泽野充;小山一郎;中村敦 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B32B7/12 | 分类号： | B32B7/12;B32B27/00;C09J7/20;C09J201/00;H01L21/301 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 蒋亭<国际申请>=PCT/JP2016/ |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使将晶片超薄化也可难以产生翘曲的层叠体、临时粘接用组合物及临时粘接膜。一种层叠体，依次相互相邻而具有第一基材、临时粘接膜及第二基材，其中，临时粘接膜在25℃时的以JIS K 7161:1994为基准的拉伸弹性模量E为25～2000MPa，在25℃温度下固定层叠体的第一基材及第二基材中的任一个，对另一基材的端部，从与临时粘接膜的界面以50mm/分钟的速度在与另一基材的基材面垂直的方向，提拉另一基材的端部，由此可进行剥离，并且使用力传感器测定提拉时所施加的力时的力为0.33N/mm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 临时 粘接用 组合 粘接膜 | ||
【主权项】：
1.一种层叠体，其依次相互相邻而具有第一基材、临时粘接膜及第二基材，其中，/n所述第一基材及第二基材的一个为载体基材，另一个为器件晶片，/n所述载体基材为晶片或玻璃，/n所述临时粘接膜在25℃时的以JIS K 7161：1994为基准的拉伸弹性模量E为25～2000MPa，/n在25℃的温度下固定所述层叠体的第一基材及第二基材中的任一个，从与临时粘接膜的界面以50mm/分钟的速度在与所述另一基材的基材面垂直的方向提拉另一基材的端部，由此在所述载体基材与所述临时粘接膜的界面可进行剥离，并且使用力传感器测定所述提拉时所施加的力时的力为0.33N/mm以下。/n
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