[发明专利]再生冷却方法和设备

摘要

一种冷却等离子体室中的内衬的方法。使再循环气体与内衬接触或经过内衬，以冷却所述内衬并预热再循环气体。然后使被预热的气体经过等离子体室再循环，以成为等离子体形成工艺的一部分。该方法还包括：内衬为石墨，再循环气体经过存在于内衬中的至少一条冷却通道，冷却通道中的至少一条冷却通道被至少一个能够移除的内衬/通道盖覆盖，碳沉积物由存在于再循环气体中的烃形成，至少一条通道被形成为螺旋的冷却通道样式，至少一条通道被形成为基本上直的冷却通道样式，以及充气室，其用于协助在通道中产生均匀分布的冷却气体。

主权项

1.一种冷却等离子体室中的内衬的方法，所述方法包括:使待用于在所述等离子体室中生成等离子体的至少一种再循环气体与所述内衬接触或经过所述内衬，以冷却所述内衬并预热所述至少一种再循环气体以生成被预热的再循环气体，以及使所述被预热的再循环气体返回到所述等离子体室，以生成所述等离子体。